| UV照射裝置（水銀燈、金屬鹵化物燈）-過程/照射方式 |
| Tape剝離紫外線照射裝置（對應8吋、12吋） |
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| ☆裝置概要 |
| 1. 此裝置是用2層堆疊的Cassette來將Work取出； |
| 2. 主要目的是為了UV硬化型切割的紫外線照射。 |
| 3. 將高壓水銀燈做為標準裝備，使Work一邊移動一邊進行照射。 |
| 4. 此裝置能用更準確的精度來發揮Dicing Film的性能。 |
| 5. 照射後，會收納至Cassette裡。 |
| 6. 更換Cassette時，可對應8吋~12吋的Cassette； |
| 7. 且採用了2層堆疊的Cassette，因此可以更有效率地處理Work。 |
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| 基本規格 |
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| 尺寸 |
1760mm(寬)x1340mm(深)x1570mm(高) |
| 使用環境 |
溫度：0~35° 濕度：85%以下 非結露 |
| 對應晶圓 |
8吋、12吋 |
| 燈數 |
1燈用 |
| 照射距離 |
160~300mm |
| 反射板 |
冷光鏡(cold mirror)極光型 |
| 照射器安裝方向 |
上面照射 下方安裝 |
| 適合的燈 |
高壓水銀燈 4KW x 1燈
80W/㎠ 發光長：500mm |
需要燈冷卻
排氣風量 |
4.0㎡/min/1燈
總排氣量4.0㎥/min（90mmaq） |